午夜一区二区免费视频-午夜一区二区三区-午夜一区二区在线观看-午夜一区欧美二区高清三区-午夜影院一区-午夜影院一区二区

蘇州東偉元電子有限公司

咨詢電話:

13913158248

當前位置:

首頁  >  技術文章  >  吉時利半導體電阻率的多種測量方法應用與注意事項

吉時利半導體電阻率的多種測量方法應用與注意事項

更新時間:2014-04-28        閱讀量:3756
半導體電阻率的多種測量方法應用與注意事項(2) 
技術類別:測試測量 
 


測量電阻率的范德堡(vanderPauw)技術也采用恒流的方法。這種方法在測量非常小的樣品時特別有用,因為這時樣品的尺寸和接觸點的距離并不重要。這種技術采用在扁平的、任意形狀的樣品上放置四個隔離的接觸點。圍繞樣品進行八次測量。如圖4-28所示。
然后計算兩個電阻率值ρA、ρB如下:

 

 
其中:ρA和ρB是以歐姆為單位的電阻率 
tS 是以厘米為單位的樣品的厚度 
V1-V8代表電壓表測量出的電壓 
I 是以安培為單位的流過樣品的電流 
fA和fB是基于樣品對稱性的幾何因數,并與以下方程式所示的兩個電壓比QA和QB 有關(對于對稱性的情況,fA=fB=1)。 
QA和QB可以由測量出的電壓計算如下:

 

 
并且,Q和f的相互關系如下:

 

 

點擊看大圖 
此函數的曲線示于圖4-29。一旦決定了Q,就可以從這個曲線圖中找出f的數值。

 

點擊看大圖
注意,如果ρA和ρB相互之間不在10%之內,那么該樣品就不夠均勻,不能準確地確定電阻率,應當放棄使用這種方法。 
一旦知道了ρA和ρB則平均電阻率(ρAVG)就可以計算如下:

 

 
與四點同線探針法一樣,如果樣品電阻和電壓表的絕緣電阻(電壓表的公共端到地)是同一數量級的,就可能需要使用差分測量。如圖4-30a所示,共模電流可能流過樣品的4 和3端子之間。圖4-30b說明使用單位增益緩沖器和差分測量如何能夠解決這個問題。現在,在 4 和3 端子之間流過的共模電流非常小。 
圖4-31所示的系統使用吉時利公司的7065型霍爾效應卡進行van der Pauw測量。該系統包括下列儀器:7065型霍爾卡、2000型數字多用表、6220型電流源、6485型皮安計和7001型開關系統。使用霍爾效應卡將電流源和電壓表自動切換到樣品的所有各邊。這樣就不再需要進行4次連接和斷開測試引線的工作。此外,該卡還具有內置的單位增益緩沖器,很容易對高電阻率樣品進行差分測量。如果再加上一個受控的磁場,還能用這個系統來確定樣品的霍爾系數。

 

點擊看大圖
4200-SCS型半導體特性測試系統能夠使用四點同線探針法或van der Pauw法測量電阻率。測量高電阻樣品需要使用輸入阻抗非常高 (>1014歐姆 )的電壓表和能夠輸出非常小電流( 1016歐姆 )、并能準確地輸出弱電流,所以非常適合這種應用工作。
可以用配置四個SMU和四個前置放大器的4200-SCS來進行van der Pauw法的電阻率測量。每個SMU連到樣品的一邊,如圖4-32所示。交互測試軟件模塊(ITM)用來控制各個SMU的功能。

 

點擊看大圖

 

點擊看大圖
通過交互式編程,每個SMU的功能都能自動地改變為電流源、電壓表或者公共端,以便在樣品的各個邊上輸出電流和測量電壓。交互地改變每個SMU的功能就不需要使用外部的開關將電流源和電壓表切換到樣品的各個端子上。

 

點擊看大圖 
吉時利公司4200-SCS測量van der Pauw電阻率的“方案”可以從吉時利公司獲得。圖4-33顯示出該方案的屏幕顯示情況。在這個例子中,SMU1配置為公共端,SMU2為電流偏置,SMU3和SMU4則配置為電壓表。 
還可以用一個電磁鐵與4200-SCS配合來確定霍爾系數。

  

版權所有©2025 蘇州東偉元電子有限公司  備案號:蘇ICP備13024284號-1

技術支持:化工儀器網  管理登陸  sitemap.xml

主站蜘蛛池模板: 白丝制服被啪到喷水很黄很暴力 | 成人在线一区二区三区 | 国产69久久精品成 | 国产成人无码片视频在线播放 | 婷婷综合久久中文字幕蜜桃三电影 | 丝袜无码一区二区三区 | 欧美日韩综合一二三区 | 成人区人妻精品一区二区不卡 | 亚洲国产精品VA在线看黑人 | 久久精品国产亚洲AV麻 | 欧美老妇牲交videos | 国产aⅴ无码片毛片一级 | 亚洲国产的精品太乱码一区二区 | 日日摸夜夜添无码AVA片 | 91精品国产高清久久久久久伦理片电影免费在线 | 国产午夜福利院757视频 | 91精品国产人成网站 | 国产精品无码刺激性 | 97人洗澡人人澡人人爽人人模 | 日本老熟五十路息孑安野由美 | 国产成人久久久精品二区三区 | 理论片午夜成人影院 | 自拍视频国产在线导航 | 国产成人精品久久免费动漫 | 国产69精品久久久久乱码免费 | 久久久噜噜噜久久久 | 高清一区二区三区日本久 | 成人无码片黄网站a毛片免费 | 美国一级毛片免费 | 91精品激情在线观看最新 | 国产aⅴ无码专区亚洲av | 无码人妻精品一区二区三区免费看 | av无码国产精品性色aⅴ | 99久久精品国产高清一区二区 | 5566在线资源午夜毛片三级锕在线丰满99久久久无码国 | 男人把女人桶到喷白浆的软件免费 | 2024高清国产一道国产免费播放 | 久久精品国产亚洲v色哟哟 久久精品国产亚洲v色欲密臂 | 久久国产色 | 国产精品白浆无码流出在线看 | 女人下边被添全过程A片图片 |